由于作為進水的純水系統(tǒng)的制水速度較慢，因此在純水系統(tǒng)與超純水系統(tǒng)之間必須有水箱作為過渡。然而在水箱中貯放純水會因為材質(zhì)的溶出、空氣中無機物質(zhì)與有機物質(zhì)的污染，以及微生物的繁殖等因素造成純水水質(zhì)的劣化，進而增加超純水系統(tǒng)的純化負荷。為了讓超純水裝置有穩(wěn)定的進水水質(zhì)，如何使水箱的水質(zhì)劣化程度控制在最小范圍內(nèi)非常重要。

1)以空氣過濾器去除空氣中的污染物質(zhì)

實驗室的空氣中含有使純水水質(zhì)劣化的二氧化碳與浮游微生物，使用有機溶劑實驗室空氣中則含有揮發(fā)性有機溶劑。當空氣中的二氧化碳溶解于水中，會形成碳酸根離子，使水箱中純水的電阻率大幅降低，將造成超純水系統(tǒng)中陰離子交交換樹脂的負荷量增加，而縮短其使用壽命。除此之外，水箱中的純水若混入微生物與有機物質(zhì)，也會造成微生物增殖和有機物質(zhì)的再次污染。因此，純水水箱應呈密閉狀態(tài)，因為水箱必須設置通氣口使純水可以順利的流出，所以為了防止空氣中的污染物質(zhì)透過通氣扣、口進入純水水箱內(nèi)，加裝空氣過濾器是不可或缺的。

2)以殺菌用UV燈防止微生物繁殖

水質(zhì)純化雖然有不同的方法，但仍有少量微生物殘存。只要留存于水箱中，就有繁殖的可能性。雖然純水中幾乎不含營養(yǎng)成分(有機物等)，但仍有能適應貧瘠營養(yǎng)環(huán)境的微生物存在的可能。所以，在水純化的過程中，應該具備殺菌的相關程序。

藥劑洗凈與熱水殺菌，對于純水中微生物的殺菌效果是單次性的，而非持續(xù)性的。相對而言，紫外線照射殺菌法，只要在照射期間，對微生物的殺菌作用就能夠持續(xù)。紫外線的殺菌能力，以紫外線光強與照射時間來表示。當純水中的微生物受到100mw.s/cm2的照射量處理時，殺菌率就可達99.9%。這里，我們在水純化過程中加裝紫外燈，并對其殺菌效果進行檢測。首先我們在純水系統(tǒng)的水流管路中加裝紫外燈，采用連續(xù)照射方法，對進行殺菌效果進行檢測。

一般來說，水純化過程中若不使用紫外線照射，純水系統(tǒng)的細菌數(shù)會超過100cfu/ml，而使用紫外線照射的純水系統(tǒng)，其細菌數(shù)可以降至10cfu/ml。也就是說，純水系統(tǒng)管路中若使用加裝紫外燈，對降低細菌數(shù)具有非常好的效果。但幾天后，就出現(xiàn)了細菌增殖的現(xiàn)象。這是因為，水箱中的細菌的繁殖沒有受到抑制，細菌數(shù)逐漸增加。因此，對純水系統(tǒng)中的微生物進行控制時，只對純化程序中的管線進行紫外線照射是不足的，應同時對水箱中的細菌繁殖進行抑制。

因此，如前述系統(tǒng)所言，我們在純水管路和水箱使用紫外燈照射處理，來檢測其對細菌數(shù)的影響。紫外燈的照射處理時間為每日10分鐘。結(jié)果顯示，管路中純水的細菌數(shù)在紫外燈照射下約為4-10cfu/ml。之后，在水箱紫外燈的照射下細菌數(shù)進一步降低。水箱內(nèi)經(jīng)紫外燈照射后，雖因重新注入純水而使細菌數(shù)增加，但仍可使細菌繁殖獲得極大抑制。自開始檢測后的70天，水箱中的細菌數(shù)始終保持在極低的狀態(tài)，達到有效的且持續(xù)性的抑制細菌增長的效果。

由前述結(jié)果可知，在純水管線與水箱中同時使用紫外燈照射，可將純水中的細菌降到最低。水箱中的細菌繁殖，即意味著將有細菌及其代謝的有機物流入超純水系統(tǒng)。所以，進行超純水純化時，有必要在純水管線與水箱中同時使用紫外燈照射。

此外，細菌的繁殖容易發(fā)生在水流停滯的地方。因此，水箱的結(jié)構也很重要。平底水箱將貯水完全排除而稱為水污染的原因。針對這一問題，若將水箱底部設計為傾斜構造，使水能夠完全排除，就能夠加以解決。水箱若放置在日光直射的窗邊，水溫便會上升，容易造成細菌的繁殖。若使用半透明材質(zhì)的水箱，將會因為日光通透而造成藻類繁殖。因此，在安裝超純水系統(tǒng)時必須注意這些要點。

3)超純水系統(tǒng)的耗材必須定期更新

由于超純水系統(tǒng)中的離子交換樹脂對有機物有一定的吸附容量，經(jīng)過一定的處理量之后，就必須加以更換。特別是PH值在7左右時，物質(zhì)在水中不易離子化，尤其是硼、硅等成分會由于離子交換樹脂的吸附能力降低而不易被捕捉，此時，電阻率已無法正確反應非離子化無機物的濃度。也就是說，即使電阻率維持不變，事實上樹脂的去除性能已經(jīng)降低，可能是超純水中某些離子濃度升高到對微量元素分析檢測產(chǎn)生干擾的程度。因此。在電阻率值發(fā)生變化之前，應考慮離子交換樹脂的處理負荷，定期對離子交換樹脂加以更換。相同的，活性炭柱與空氣過濾器對有機物的吸附量也有一定的限制，使用者應根據(jù)實際用水情況及時加以更換。為了延長這些純化柱的使用壽命，使用純化度更高的純水作為進水也是很重要的。

另外，對于所使用的各種濾膜，由于使用期間會有物理性劣化與孔隙阻塞的現(xiàn)象發(fā)生，也應該定期加以更換。